工程背景图
某新型半导体行业制造出单位最靠近长三角型国家,关键生产制造销售晶圆和集成块。在生产制造销售步骤中,晶圆裁割和打磨环节生成一大批研磨抛光液废水清理工艺,每日排污量约50吨。因此废水清理工艺中所含高氧化还原电位漂浮物、不锈钢铁离子及有机的调用剂,进行排污会对生态导致的严重性造成的污染,单位急需用钱鑫霖环保技术专业清理基础设施。
废气组分及的来源
机磨液废液主要的的来历于晶圆制作中的耐腐蚀设备cnc精密机械加工(CMP)工艺程序,主要的的生态破坏物还有:
悬浮物顆粒物
:二防氧化反应硅、防氧化反应铝等考虑粉末,比表面积在0.1-1μm,盐浓度高达模型2000mg/L。
不锈钢亚铁离子
:铜、铁、锌等,来自五湖四海磨光垫磨损情况及晶圆从表面五金层,铜阴阳离子有机废气浓度约50mg/L。
生产“化学添加剂
:收录外面活性酶类剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸强碱性材质
:pH值下跌大,一般在2-11间。
解决工艺设备过程
采取废液特征参数,通过“数据预净化处理+生化模式+宽度净化处理”组合构成加工:
设定池
:平均水的质量的水量,增添酸性缓解pH至中性粒细胞。
混凝土发展
:加药系统PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),除掉浮动物和溶液,沉降后SS除掉率>90%。
促使阳极氧化
:使用Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)溶解有机的加入剂,COD快速清理率达60%。
怪物净化处理
:MBR膜生物制品反馈器更加骤溶解剩的可挥发物,COD低于100mg/L之下。
亚铁离子变换
:专用型硅胶粘合剂物理吸附铜正离子,出水量铜含量的<0.5mg/L。
砂滤+抗逆性炭滤过
:切实保障出液纯净,提升《废水总合排放量准则》(GB8978-1996)考试内容一级准则。
之后功效
体统电脑运行不稳定性后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜亚铁离子<0.3mg/L。
使用率达40%,超过不合格直接排放出,年变少焦化废水直接排放出1.八万吨。
治疗投资成本约15元/吨,远超过业峰值。