该厂为8英尺晶圆生產线配置的超蒸馏水体系，经常引发含硅废液150吨。废液中虽无巨资属，但硅含锌量高易结渣，且电阻值率需高达18MΩ·cm方能循环。本来的操作技艺始终无法符合新实行的《网上工农业水环境废弃物的排放出规范规定》（GB39731-2020）很的排放出规定值。 工业废水物质特别 主要的造成的污染 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒物硅（颗粒直径0.1-1μm） 独特条件 ：TOC<10μg/L，硼含碳量<5μg/L 地表水属性 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅类化合物姿态有难度 进行处理加工制作工艺 流程步骤 改革创新主要采用"梯级膜隔离+电去铁离子"结合新工艺： 微滤预解决 ：1μm淘瓷膜电话拦截大粒子硅，通量能维持80LMH 亚铁离子传递不饱和树脂 ：D201大孔硅橡胶选定性吸附性硅酸分子式 三级RO平台 ：第1 段收购率60%，2.段应用高脱硼膜零件 EDI电去正离子 ：电流大小黏度2A/m²，不间断我们要除稳定度正离子 UV紫外线臭氧消毒 ：254nm红外光谱线用药量40mJ/cm² 方法亮点纷呈 开放特用阻硅剂（有机会胺类结合物），延长时间膜生态破坏频次3倍 EDI功能模块企业创新流道设计，硅去掉率优化至99.8% 高清在线硅定性测试仪（衡量范围之内0.1-500μg/L）实行优质控制 加载成果 经两方的检测： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼水平从8μg/L降为0.3μg/L 程序回收分类处理率从原40%上升至68% 膜调整期限不断增加至5年，年使用总成本削减35%