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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体材料存储芯片制造出厂在晶圆粗加工具体步骤中,运行硅烷开展硅本质生长的,排放洗條塔行成高氧浓度含硅生活污水。生活污水有着pH震荡大(2-11)、硅含碳量高的作用,传统文化净化处理做法易出現硅垢堵塞过状况。 废气有效成分及特征 化工废水通常基本成分为: 降解性硅酸盐 :SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L 氢氧化的钾/氢氧化的钠 :洗衣塔酸碱平衡洗衣液残留物 粒状硅 :微米级SiO₂悬浊液 痕量砷 :奶茶原料其它杂物带进 治理工艺设备方法 企业创新选择"多级中合+膜过滤系统+蒸发器晶体"方法: 特级与 :用CaO调高pH至4-5,形成硅酸钙析出,硅去掉率60%。 两级结合 :加Na₂CO₃将pH发展至9,进那步悠长岁月中多余硅,串并联用镁剂除砷。 反渗透装置模式 :0.02μm工业陶瓷膜过滤系统納米级硅顆粒,通量稳定的在80LMH。 MVR蒸发掉器 :浓缩提炼高盐焦化废水,凝结出Na₂SO₄副产物的,水回收利用率超90%。 以后体验 总硅从1500mg/L降为5mg/L接下来 砷的含量从0.8mg/L下降0.01mg/L 体系无水垢正常运行多于2年 每一年再利用硫酸钠钠晶状体约800吨

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