半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导品质公测一体化涉重废渣——MVR强硬循环法零排内容
内容图片背景
半导体行业芯片一个公测产品,的规模150万立米/天,是首支半导体行业芯片公测一起涉重焦化废水处理零排产品。公测各个环节的镀镍、镀铜、引线三层架构洁净会有含镍含铜焦化废水处理,园林规定"无尾水外排",产水全部都循环于产线。
饮用水的特征与存在的问题
污废水 以含镍为重(氧浓度10–100毫克/升),伴少量出铜、锌,pH变化大(2–12),有着光刻胶残余的少量出设计物。公测厂训练场地紧,需要外理油烟净化器占地赔偿小;零排代表着着浓水未能清运太少,要本地人化掉结晶体反馈控制。
进行处理工学院艺自驾路线
全局走"分质自身 → 预办理除杂 → 无机化学乳浊液除镍 → 过滤程序 → UF+二级RO → MVR强迫无限循环化掉 → 空气冷却水循环":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢空气脱色钠生产Ni(OH)₂奠定,再加上混炼钠厚度气体吸附残留镍(混炼镍Ksp比氢空气脱色镍更小,也能镍压到0.1毫克/升有以下);
沉定喷水经多材质活性炭过滤系统+安检员活性炭过滤系统后进UF,再进一层RO,产水间接回产线除垢;
RO浓水(含盐+稳定度高价属)进MVR强行不断巡环化掉器,强行不断巡环能扛高含盐水垢,化掉器预装软件卸载线的清洗,不会堵;
MVR空调多效蒸发器水反回回收利用池体,多效蒸发残液委外焚烧炉或用于危险废弃物外理,一个园区无液太外排。
关键因素机械的特点代表
MVR立即再循环法差距硬性降膜汽化,再循环法风速高、对流传热面不要结镍盐/碳酸盐垢,比较适合公测这"的水量面积不大但水质检测杂"的场景设定;合一化撬装设定占地赔偿比常用汽化塘+多效汽化计划小60%往上;废气侧配建生物制品滤池,把自动调节池和污泥干化间的废气抽取后吸附成CO₂和水,尽量不要公测厂紧挨着接待室区的臭味投述。
治理 感觉与经济发展
留水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远远超过《化学镀的废水废气排放出规则》表三;整个150万每立方/天产水回收于测封产线冲洗,换用等量优质水;垃圾(蒸馏残液+工业废水)量比民俗"沉淀物+废气排放出"模型减约70%。对富士康侧,测封楼盘绿色分级管理卡点遭打通;